超高纯气双层管道施工工艺原理及操作要点

极高纯硅烷用于半导体和太阳能薄膜工艺SiH4.磷烷PH3，砷烷AsH3.乙硼烷B2H6.六氟化钨WF6.高纯氨NH3等特殊气体，易燃。.剧毒.强腐蚀等特精密半导体电子元件.它是制造新能源光电产品不可缺少的重要原材料。如果在生产过程中发生气体泄漏，将造成非常严重的产品质量和人身伤害事故。因此，为了确保安全，这种高纯输送管道选择不锈钢多管技术。

在管道施工过程中，清洁工作环境.管道内外管道的清洁度.焊接和安装质量要求很高。本文将介绍高纯特气双套管的工艺原理和施工操作要点。

双套管工艺原理概述：

选用水平15°沿管介质流向高纯氮(999).999%)吹扫，用双层管隔断填充不锈钢弹簧，然后用专用弯头设备加工弯头。双层管内外充纯氩(99.自动轨道氩弧焊连接与软金属垫片端面密封连接，结合氦泄漏测量的工艺原理，保证内表面管道的清洁度.密封性.弯头质量及管道焊接安装质量。

双套管加工安装操作要点：

1.清洁环境:现场设置三个预制加工清洁区，建立临时净化室，净化水平不低于9级，保证管件加工的清洁度。进入净化室的人必须穿干净的衣服.洁净帽.洁净鞋.清洁手套等；

2.管道加工：管口加工是本施工技术的重点之一，管道切割.在清洁环境中预制，确保管道切割前表面无有害痕迹.损坏。管道开封前，应准备好管道内的氮气清洗；

3.管道、配件及设备的连接及安装：易燃运输.双层管毒特殊气体的双层管和闸阀.气表与设备连接选用金属垫片密封接头（VCR）安装时，金属垫片采用软镍合金垫片，保证密封紧密；

4.管道安装：双层管道对接焊缝终接头，选择增加尾部滑套的安装方式。

以上介绍了半导体超高纯气体双套管技术的工艺原理和操作要点。双套管技术在保证超高纯气体系统的人员安全和产品质量方面发挥了良好的基本作用。