UHP超高纯供气系统中的细节注意点——不锈钢管道

作为不锈钢管系工程中的一员，HP超高纯供气系统更是如此，细节的重要性体现得淋漓尽致，大型气体(液体)系统中对特气纯度的使用要求可达99.9999%，可以说，特气系统每一个地方出现一个小问题，就会导致气体不纯，生产出问题，甚至事故！

现在我们来详细介绍一下其中的一个细节，UHP超高纯供气系统中的不锈钢管道！

对于半导体、集成电路、生物医药等行业来说，输送超纯介质(气体)的高纯气体管道需要的是一种综合考虑组织稳定性、耐蚀性、加工性能的不锈钢管。

因此，高纯度的管道既要有美观的外观(外部纯度)，又要有物美价廉的材料(内部纯度)。

一、外部纯净：与传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙、凹凸不平的感觉不同，目前超纯气体管道不仅外观光洁，而且内部表面粗糙度也较好，以确保管道系统对输送的介质保持中性，并保证的彻底吹扫和清洁性能，目前工程师和技术人员经常提到的表面粗糙度Ra值正是管道系统内部表面粗糙度的基本要求。为保证自动轨焊质量和效率，当然尺寸公差也是基本的要求。

二、内部纯净指材料纯净：真正意义上的超纯净，气管材仅仅有美观的内外表面是远远不够的，对管路系统的材料也有非常严格的要求，不管是化学成分还是机械性能都有一定的定义。因此，我们所说的纯净管是由纯净管316L组成，指不锈钢中的不纯物尽可能减少到一定的范围内，非金属夹杂及气体成分控制在限度，而高纯净管则可分为BA级和EP级，超高纯供气系统一般采用不锈钢管316LEP级，即电解抛光不锈钢管。

超高纯供气系统方案纯化等级为不锈钢管。

总之，在保证超高纯电子特气管道系统中性的情况下，我们要注重管道表面粗糙度Ra值、尺寸公差和本身的洁净材质，使颗粒产生和积滞得到有效抑制，确保可焊性和焊接质量。如此可以保证内外纯净的不锈钢管子，在焊接时可减少烟尘的发生，产生颗粒，提高焊接部位的耐蚀性和平滑性。